| 名称12寸半导体晶片,蓝宝石单工位甩干机 | 货号DSG02 |
| 产品用途用于硅圆片、LED硅片、太阳能电池等其他类似材料的高洁净度冲洗甩干 | 品牌奥曼特 |
技术参数
型号 dsg02
工作腔数量 1
硅片规格 mm 12”
旋转速度 r/min 300-2800
氮气压力 mpa 0.3
去离子水压力 mpa 0.3
外型尺寸（长x宽x高）mm 850x460x1540
电源功率 kw 1.8
电压 / 频率 ac380v 50hz
结构特点
1． 采用了洁净化处理技术，阀门、接头和管道采用超纯材料。
2． 工作腔、旋转支架等采用316不锈钢，并且表面电化学抛光处理。
3． 工作腔加热和氮气温度控制。
4． 控制软件具有故障实时显示和报警功能。
5． 采用plc和触摸屏控制，整个过程智能化。
6． 伺服电机驱动。
7． 具有工艺菜单功能。
无锡奥曼特科技有限公司
李先生
15995260617
江苏 无锡 新吴区