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绍兴步进光刻机价格 光刻机 晋宇达(在线咨询)

2021/2/17 21:36:53发布111次查看
      晋宇达电子是一家专门从事提供集成电路生产线关键设备 光刻机的销售、安装、翻新、改造、再制造、备件耗材及技术咨询成套解决方案的高新技术企业。由于我们的客户遍布全国各地,我们有专业的设备存储,运输及调试的一条龙服务团队。
      高端光刻机堪称现代光学工业之花,其制造难度之大,全世界只有少数几家公司能够制造。国外品牌主要以荷兰asml(镜头来自德国),日本nikon(intel曾经购买过nikon的高端光刻机)和日本canon三大品牌为主。
光刻机
      光刻工艺通过曝光的方法将掩模上的图形转移到涂覆于硅片表面的光刻胶上,然后通过显影、刻蚀等工艺将图形转移到硅片上。光刻工艺直接决定了大规模集成电路的特征尺寸,是大规模集成电路制造的关键工艺。作为光刻工艺中最重要设备之一,光刻机一次次革命性的突破,使大规模集成电路制造技术飞速向前发展。
张家港晋宇达电子科技有限公司客户主要分布在北京,上海,苏州,无锡,绍兴,深圳,东莞,厦门,福州,西安等地区。
扫描步进投影曝光(scanning-stepping project printing)。90年代末~至今,用于≤0.18μm工艺。采用6英寸的掩膜板按照4:1的比例曝光,曝光区域(exposure field)26×33mm。优点:增大了每次曝光的视场;提供硅片表面不平整的补偿;提高整个硅片的尺寸均匀性。但是,同时因为需要反向运动,增加了机械系统的精度要求。

张家港晋宇达电子科技有限公司

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中国 苏州
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